SCCとは、いわゆる「精密機器および部品等特殊部品の表面汚染管理」を指します。

茨城シーアイシー研究所のSCC事業部では、精密機器やキャリアボックス等の表面汚染を最新設備の整ったSCC専用プラントで厳重な品質管理体制の元、精密洗浄致しております。
 
 
 
Surface Contamination Control(表面汚染制御)のためのダウンフロー総流方式によるクリーンルーム内にて、ウェハートレー等を洗浄。
超純水洗浄の実施により、クリーンオープン処理し 、クリーンテーブル上で清浄包材によるクリーンパックを行います。
 

 

液中パーティクルカウンターによる評価を行います。
 
 
基本の洗浄フローです。
 
 
協議により、洗浄品にあわせた工程でも洗浄いたします。